Identificare i sistemi di riutilizzo dell’acqua nell’industria microelettronica può essere una sfida. I fattori che contribuiscono includono una composizione variabile di numerosi flussi di acque reflue e la presenza di più posizioni in cui l’acqua recuperata potrebbe essere reintrodotta nell’impianto. Esistono diverse strategie per selezionare i flussi di rifiuti e i loro punti di reintroduzione dopo il trattamento. La strategia corretta per il tuo impianto è determinata in base ai livelli di concordanza delle impurità e agli obiettivi di riutilizzo dell’acqua.
Obiettivi per il riutilizzo dell’acqua
I flussi di scarico con la più bassa concentrazione di impurità sarebbero più adatti per il riutilizzo in un sistema di acqua ultrapura (UPW). Mentre i flussi di scarico con la concentrazione più elevata sarebbero ideali per applicazioni senza contatto come torri di raffreddamento e abbattitori. Un'altra considerazione per i produttori di microelettronica sono gli obiettivi per il riutilizzo dell'acqua. Gli obiettivi possono includere la riduzione dell’apporto idrico comunale agli attuali livelli di produzione, il mantenimento dell’apporto idrico, l’espansione della produzione o semplicemente la riduzione dello scarico di liquidi dall’impianto.
Tecnologie utilizzate nei sistemi di riutilizzo dell’acqua:
- Sistemi di filtrazione ad alta efficienza
- Ridurre al minimo gli sprechi di controlavaggio
- Ridurre il consumo idrico e risparmiare energia
- Ridurre al minimo i requisiti di manutenzione
- Sistemi a osmosi inversa
- Ridurre anioni, metalli, silice, ecc.
- Membrana semipermeabile utilizzata per rimuovere i solidi
- UV convenzionale o processo di ossidazione avanzato (AOP)
- Riduzione TOC
- Disattivare efficacemente una vasta gamma di microrganismi
- Capacità di riutilizzo dell’acqua per raggiungere gli obiettivi generali di sostenibilità
Oltre alle apparecchiature di trattamento, i serbatoi di equalizzazione del flusso, la strumentazione di analisi rapida online e le valvole di deviazione automatizzate sono comuni per ridurre al minimo i rischi.
I processi di trattamento delle acque reflue esistenti devono ridurre i contaminanti residui a livelli accettabili, in base ai criteri di qualità dell’acqua del punto di reintroduzione
