Les procédés de fabrication dans l’industrie des semi-conducteurs exigent de l’eau ultrapure à presque toutes les phases. Le traitement de l’eau d’admission à des niveaux de haute qualité exige des procédés et des technologies de traitement de l’eau pour éliminer les contaminants, les minéraux, les microorganismes et les produits chimiques organiques et non organiques. Le simple fait de répondre aux exigences actuelles en matière de qualité de l’eau n’est pas suffisant et Xylem comprend que le prochain cycle technologique exigera des spécifications encore plus rigoureuses qui augmentent le coût de chaque puce produite. Notre vaste portefeuille de technologies peut répondre aux trois étapes d’un système d’eau ultrapure : les systèmes de maquillage, primaires et de polissage.
3 étapes d’un système d’eau ultrapure :
- Systèmes d’appoint : comprennent la filtration, le contrôle granulaire du charbon actif/chlore, le contrôle de l’assouplissement/du tartre, l’ajustement du pH et l’osmose inverse.
- Systèmes primaires - comprennent la réduction du COT UV, la dégazéification par membrane, la déionisation (CDI ou lits mixtes) et la filtration submicronique. Les systèmes CDI VNX-EX de Xylem sont conçus spécifiquement pour l’industrie des semi-conducteurs avec une capacité d’élimination de la silice et du bore inégalée.
- Systèmes de polissage : comprennent la réduction du COT UV, la dégazéification par membrane, la déionisation à lit mixte, la filtration submicronique et l’ultrafiltration. La résine échangeuse d’ions à lit mélangé NR-45 Meg Nano de Xylem est notre produit de dernière génération qui a été testé selon les protocoles SEMI C-93.
Pour garantir le fonctionnement optimal de votre système d’eau, nous pouvons vous fournir un service sans équivalent grâce à notre service Water One®, une solution numérique révolutionnaire de gestion de l’eau qui combine l’expertise de Xylem en matière d’eau, un service proactif, une technologie éprouvée et une intelligence des données. Les services Water One garantissent l’optimisation complète de votre système de traitement de l’eau en utilisant la technologie pour améliorer l’efficacité du fonctionnement et de l’entretien.
Nous pouvons également vous aider à traiter les échanges de résine à lit mixte, la maintenance préventive et les contrats d’exploitation. Nos solutions de modernisation et de mise à niveau améliorent la qualité et la fiabilité de l’eau, réduisent les coûts d’exploitation et augmentent la capacité. Pour les applications au point d’utilisation (POU), nos produits de filtration Vanox® POU et Vanox POU-F produisent de l’eau dépassant les normes ASTM E-1.2.
