Die Identifizierung von Wasserwiederverwendungssystemen in der Mikroelektronikindustrie kann eine Herausforderung sein. Zu den beitragenden Faktoren gehören eine unterschiedliche Zusammensetzung zahlreicher Abwasserströme und mehrere Standorte, an denen das aufbereitete Wasser wieder in die Anlage eingeführt werden könnte. Es gibt mehrere Strategien für die Auswahl von Abfallströmen und deren Wiedereinführungspunkte nach der Behandlung. Die richtige Strategie für Ihre Einrichtung wird auf der Grundlage der Ziele für die Berücksichtigung von Verunreinigungen und die Wiederverwendung von Wasser festgelegt.
Ziele für die Wasserwiederverwendung
Abwasserströme mit der geringsten Konzentration an Verunreinigungen eignen sich am besten für die Wiederverwendung in einem Reinstwassersystem (UPW). Während Abwasserströme mit der höchsten Konzentration am besten für berührungslose Anwendungen wie Kühltürme und Abreinigungsreiniger geeignet wären. Ein weiterer Aspekt für Hersteller von Mikroelektronik sind die Ziele für die Wasserwiederverwendung. Ziele können die Reduzierung der städtischen Wasseraufnahme auf dem aktuellen Produktionsniveau, die Aufrechterhaltung der Wasseraufnahme bei gleichzeitiger Ausweitung der Produktion oder einfach die Reduzierung der Flüssigkeitsabgabe aus der Anlage sein.
Technologien, die in Wasserwiederverwendungssystemen verwendet werden:
- Hocheffiziente Filtrationssysteme
- Minimieren Sie Rückspülabfall
- Wasserverbrauch reduzieren und Energie sparen
- Minimieren Sie Wartungsanforderungen
- Umkehrosmosesysteme
- Reduzieren Sie Anionen, Metalle, Siliziumdioxid usw.
- Semipermeable Membran zur Entfernung von Feststoffen
- Herkömmliches UV- oder fortgeschrittenes Oxidationsverfahren (AOP)
- TOC-Reduktion
- Effektive Deaktivierung einer Reihe von Mikroorganismen
- Wasserwiederverwendungsfähigkeiten, um die allgemeinen Nachhaltigkeitsziele zu erreichen
Zusätzlich zu den Aufbereitungsanlagen sind Durchflussausgleichsbehälter, schnelle Online-Analysegeräte und automatische Umleitungsventile für die Risikominimierung üblich.
Vorhandene Abwasserbehandlungsverfahren müssen die Restverunreinigungen auf ein akzeptables Niveau reduzieren, das durch die Kriterien der Wasserqualität des Wiedereinleitungspunkts vorgegeben wird.
